ИСТИНА

Программа предназначена для определения в контрольных точках значения толщины нанесенных тонких пленок и ее распределения по площади подложек на структурах с неравномерными по толщине подслоями. Программа выполняет следующие функции: проведение картирования поверхности подложки (определение координат контрольных точек); определение точного значения толщины нанесенного слоя в каждой контрольной точке структуры. Программа позволяет учитывать неравномерность распределения толщины подслоя при определении толщины нанесенного слоя и построении карты ее распределения по поверхности подложки для повышения точности результатов измерений при исследованиях слоев нанометровой толщины.