|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Contr. papers XI Intern. Conf. on Gas Discharges and Their Applicationsсборник
- Год издания: 1995
- Том: 1
- Место издания: Tokyo, Japan
- Добавил в систему: Савинов Владимир Павлович
Статьи, опубликованные в сборнике
-
- 1995 Electrophysical interaction of silicon wafers with glow discharge plasmas
- Alexandrov A.F., Riaby V.A., Savinov V.P., Yakunin V.G.
- в сборнике Contr. papers XI Intern. Conf. on Gas Discharges and Their Applications, место издания Tokyo, Japan, том 1, с. 498-502