Физические и физико-химические основы ионной имплантации: Тезисы докладов VII Всероссийской конференции молодых ученых и специалистов (Нижний Новгород, 7-9 ноября 2018 г.)сборник
Год издания:2018
Место издания:Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского Н. Новгород