|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Сб. трудов 6 республиканской конференции "физические проблемы МДП-интегральной электроники"сборник
- Год издания: 1990
- Место издания: Киев
- Добавил в систему: Козлов Сергей Николаевич
Статьи, опубликованные в сборнике
-
- 1990 Влияние динамической плазменной обработки на электрофизические параметры системы кремний-окисел
- Агриков Ю.М., Козлов С.Н.
- в сборнике Сб. трудов 6 республиканской конференции "физические проблемы МДП-интегральной электроники", место издания Киев, с. 7-7