|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Plasma Etch and Strip in Microthechnology (PESM 2017). Book of abstracts. October 20–21, 2017, Leuven, Belgiumсборник
- Год издания: 2017
- Место издания: IMEC Leuven, Belgium
- Сборник тезисов
- Добавил в систему: Воронина Екатерина Николаевна
Статьи, опубликованные в сборнике
-
- 2017 DFT simulations of fluorine and chlorine atoms and molecules interactions with MoS2 monolayer
- Voronina E., Mankelevich Yu, Rakhimova T., Heyne M., Marinov D., de Marneffe J.F.
- в сборнике Plasma Etch and Strip in Microthechnology (PESM 2017). Book of abstracts. October 20–21, 2017, Leuven, Belgium, место издания IMEC Leuven, Belgium, тезисы