|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
материалы Международной конференции "физика высокочастотных разрядов" (ICPRFD 2011)сборник
- Год издания: 2011
- Место издания: издательство Казанского государственного технологического университета Казань
- Сборник тезисов
- Добавил в систему: Неклюдова Полина Алексеевна
Статьи, опубликованные в сборнике
-
- 2011 Диагностика приэлектродных слоев пространственного заряда ВЧ емкостного разряда
- Александров А.Ф., Ковалевский В.Л., Рябый В.А., Савинов В.П., Якунин В.Г.
- в сборнике материалы Международной конференции "физика высокочастотных разрядов" (ICPRFD 2011), место издания издательство Казанского государственного технологического университета Казань, тезисы
-
- 2011 Изучение закономерностей энерговклада в гибридный ВЧ разряд низкого давления
- Вавилин К.В., Гоморев М.А., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б., Чжао Ч.
- в сборнике материалы Международной конференции "физика высокочастотных разрядов" (ICPRFD 2011), место издания издательство Казанского государственного технологического университета Казань, тезисы, с. 87-89
-
- 2011 Изучение закономерностей энерговклада в индуктивный ВЧ разряд при переходе от нелокального к локальному режиму ввода ВЧ мощности
- Вавилин К.В., Гоморев М.А., Кралькина Е.А., Неклюдова П.А., Павлов В.Б.
- в сборнике материалы Международной конференции "физика высокочастотных разрядов" (ICPRFD 2011), место издания издательство Казанского государственного технологического университета Казань, тезисы, с. 166-168