3-я международная научно-техническая конференция “Технологии микро- и наноэлектроники в микро- и наносистемной технике”сборник
Статьи, опубликованные в сборнике
-
-
2012
Перспективные конструкции и технологические принципы интегральных матричных сенсоров теплового излучения с оптической модуляцией сигнала на основе микрооптомеханической системы (МОМС)
-
Беспалов В.А.,
Рыгалин Д.Б.,
Фетисов Е.А.,
Хафизов Р.З.,
Золотарев В.И.,
Решетников И.А.,
Рудаков Г.А.,
Лапшин Р.В.,
Кириленко Е.П.
-
в сборнике 3-я международная научно-техническая конференция “Технологии микро- и наноэлектроники в микро- и наносистемной технике”, место издания МИЭТ Зеленоград, тезисы, с. 1-3