Тезисы докладов 12 научно-технического совещания подсекции «Новые материалы для микроэлектроники. Применение традиционных и разработка новых пленочных материалов в сенсоэлектронике, Кацивели (2-6 ноября 1991)сборник

Статьи, опубликованные в сборнике