|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO- AND NANO-ELECTRONICS 2014сборник
- Год издания: 2014
- Серия: Proceedings of SPIE
- Том: 9440
- Место издания: SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING [Gromov, D.; Borgardt, N.; Grishina, Y.; Dubkov, S.] Natl Res Univ Elect Technol, Moscow, Russia. [Dedkova, A.] Sci Technol Ctr Nano & Microsyst Tech, Moscow, Russia
- Добавил в систему: Дедкова Анна Александровна
Статьи, опубликованные в сборнике
-
- 2014 Study of growth kinetics of amorphous carbon nanopillars formed by PECVD
- Gromov D., Borgardt N., Grishina Y., Dedkova A., Kirilenko E., Dubkov S.
- в сборнике INTERNATIONAL CONFERENCE ON MICRO- AND NANO-ELECTRONICS 2014, серия Proceedings of SPIE, место издания SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING [Gromov, D.; Borgardt, N.; Grishina, Y.; Dubkov, S.] Natl Res Univ Elect Technol, Moscow, Russia. [Dedkova, A.] Sci Technol Ctr Nano & Microsyst Tech, Moscow, Russia, том 9440 DOI