Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Proceedings of the International Conference "Micro- and Nanoelectronics – 2023" (ICMNE–2023), 2–6 October 2023, Мoscow–Zvenigorod, Russia. Book of Abstracts
сборник
Год издания:
2023
Место издания:
Maks Press Мoscow
Сборник тезисов
Добавил в систему:
Флоринский Игорь Васильевич
Статьи, опубликованные в сборнике
2023
Study of topographic features, shape, and mechanical stresses in microelectronic structures using geomorphometric techniques
Dedkova A.
,
Florinsky I.
в сборнике
Proceedings of the International Conference "Micro- and Nanoelectronics – 2023" (ICMNE–2023), 2–6 October 2023, Мoscow–Zvenigorod, Russia. Book of Abstracts
, место издания
Maks Press Мoscow
, тезисы, с. 144-144
2023
Technological approaches for formation of high-density integral capacitors: deep etching and atomic layer deposition
Miakonkikh A.
,
Pankratov S.
,
Kuzmenko V.
,
Rudenko K.
в сборнике
Proceedings of the International Conference "Micro- and Nanoelectronics – 2023" (ICMNE–2023), 2–6 October 2023, Мoscow–Zvenigorod, Russia. Book of Abstracts
, место издания
Maks Press Мoscow
, тезисы, с. 43-43
2023
The effect of Ar+ plasma immersion ion implantation on the electroforming voltage of HfO2-based structures
Permyakova O.
,
Zvonov P.
,
Pankratov S.
,
Miakonkikh A.
,
Rogozhin A.E.
в сборнике
Proceedings of the International Conference "Micro- and Nanoelectronics – 2023" (ICMNE–2023), 2–6 October 2023, Мoscow–Zvenigorod, Russia. Book of Abstracts
, место издания
Maks Press Мoscow
, тезисы, с. 26-26