2004 IEEE International SOI Conference (IEEE Cat. No.04CH37573)сборник
Статьи, опубликованные в сборнике
-
-
2004
Smart Cut/spl trade/ transfer of 300 mm [110] and (100) Si layers for hybrid orientation technology
-
Bourdelle K.K.,
Akatsu T.,
Sousbie N.,
Letertre F.,
Delprat D.,
Neyret E.,
Ben Mohamed N.,
Suciu G.,
Lagahe-Blanchard C.,
Beaumont A.,
Charvet A.M.,
Papon A.M.,
Kernevez N.,
Maleville C.,
Mazure C.
-
в сборнике 2004 IEEE International SOI Conference (IEEE Cat. No.04CH37573), место издания IEEE
DOI