Proceedings of International symposium on theoretical and applied aspects of plasma chemistryсборник

Статьи, опубликованные в сборнике

---

• • 1991 The high speed probe diagnostics nonequilibrium anisotropic plasma for etching
  • Ershov A.P., Kalinin A.V., Malkov M.A., Shibkov V.M.
  • в сборнике Proceedings of International symposium on theoretical and applied aspects of plasma chemistry, место издания Riga, тезисы, с. 52-52