Сборник научных трудов. ХХI конференция «Взаимодействие плазмы с поверхностью», 24-25 января 2018 гсборник

Статьи, опубликованные в сборнике

---

• • 2018 Исследование стойкости диагностических окон в условиях очистки в ВЧ разряде в D2, Ne и их смесях
  • Буховец В.Л., Городецкий А.Е., Залавутдинов Р.Х., Маркин А.В., Золотаревский В.И., Казанский Л.П., Рыбкина Т.В., Дмитриев А.М., Раздобарин А.Г., Мухин Е.Е.
  • в сборнике Сборник научных трудов. ХХI конференция «Взаимодействие плазмы с поверхностью», 24-25 января 2018 г, с. 31-32
• • 2018 Осаждение тонкопленочных оптических покрытий оксида титана распылением керамической мишени в плазме магнетронного разряда и их свойства
  • Маланичев С.А., Бернт Д.Д., Трошкина И.Д., Писарев А.А.
  • в сборнике Сборник научных трудов. ХХI конференция «Взаимодействие плазмы с поверхностью», 24-25 января 2018 г, с. 116-119