|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Контроль плазменных технолог. проц. в электронике и микроэлектроэлектроникеСеминар (workshop)
- Охват: Региональная
- Даты проведения: 18 февраля 1986
- Место проведения: Минск, Russia
- Добавил в систему: Савинов Владимир Павлович
Доклады:
- 1986 Физические параметры плазмы поперечного ВЧ разряда (Стендовый)
- Авторы: Кузовников А.А., Якунин В.Г., Савинов В.П., Маляров А.В.