Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Контроль плазменных технолог. проц. в электронике и микроэлектроэлектронике
Семинар (workshop)
Охват:
Региональная
Даты проведения:
18 февраля 1986
Место проведения:
Минск, Russia
Добавил в систему:
Савинов Владимир Павлович
Доклады:
1986
Физические параметры плазмы поперечного ВЧ разряда
(Стендовый)
Авторы:
Кузовников А.А.
,
Якунин В.Г.
,
Савинов В.П.
,
Маляров А.В.