ИСТИНА

Изучено влияние предварительной имплантации ионов аргона с вариацией энергии и дозы облучения и эффекта радиационного отжига на характер последующего ионно-лучевого внедрения азота в поверхностные слои железа. Методом РФЭС исследованы химический состав и межатомные химические связи в поверхностных слоях армко-железа, модифицированных имплантацией ионов азота с вариацией энергии и дозы облучения. Методом РСА исследована атомная структура ионно-азотированных поверхностей. Впервые методом EELFS определены параметры локальной атомной структуры сверхтонких (3-5 нм) поверхностных слоев армко-железа, модифицированных имплантацией ионов азота. Определены оптимальные параметры имплантации ионов азота с целью улучшения коррозионно-электрохимических свойств железа. Исследованы углеродные пленки, полученные магнетронным напылением, в исходном состоянии и после ионно-лучевой модификации потоками ионов аргона и азота. Методами РФЭС, РСА, EELFS, СКР, АСМ проведена их характеризация. По данным РФЭС, углерод в ионно-модифицированных пленках по глубине поверхностных слоев находится в нескольких неэквивалентных химических состояниях. На границе раздела в зоне перемешивания образуются химические связи С-Fe (облучение Ar+), характерные для карбидов, и N-Fe, N-C-Fe (облучение N+). Спектр N1s двухкомпонетный. Методом РСА выявлено образование структурных неоднородностей в переходной области «пленка-металл». Рефлексы упорядоченной структуры углерода не обнаружены. Результаты EELFS-спектроскопии позволяют предполагать о сильно разупорядоченной структуре сверхтонкого (~ 5 нм) поверхностного слоя пленки и переходной области «пленка-металл». По данным Раман-спектроскопии, при магнетронном напылении изначально формируется пленка со структурой разупорядоченного углерода с преимущественно sp2 гибридизацией. При последующей ионной бомбардировке как аргоном, так и азотом степень разупорядочения возрастает.