ИСТИНА

Твердые пленки гидрогенизированного аморфного углерода (алмазоподобные a-C:H пленки), получаемые из газовой фазы, активированной электрическим разрядом, являются перспективным материалом для нанесения на режущий инструмент в качестве защитных, износостойких покрытий с низким коэффициентом трения. Однако,плохая адгезия к стальным подложкам представляет серьезную приблему. Одним из факторов, обеспечивающих адгезию алмазоподобных пленок, является субплантация атомов углерода в материал подложки. Однако продолжительность этого процесса ограничена временем образования перврго монослоя покрытия. Поэтому целью данной работы было нахождение такого соотношения величин потоков Ar и CH4 в смеси, которое соответствовало бы равенству скоростей распыления и осаждения пленки, что позволило бы продлить стадию субплантации. Было установлено, что такое соотношение потоков Ar/CH4 равно 4:1. На этой, предварительной стадии, происходит образование промежуточного (переходного) слоя, улучшающего адгезию. На подложках из быстрорежущей стали (20х20х2 мм)были получены защитные алмазоподобные покрытия толщиной до 3,5 мкм с хорошей адгезией, твердостью по Кнупу при нагрузке 5 г 28 ГПа и плотностью 2000кг/м3.