|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Особенности проведения электронно-лучевой литографии на краю чипа.доклад на конференции
- Автор: Преснов Д.Е.
- Всероссийская с международным участием Конференция (Семинар (workshop)) : 4-й Научно-практический семинар пользователей оборудования Raith «Электронно-лучевая литография на оборудовании Raith GmbH: от идеи до реализации»
- Даты проведения конференции: 19 июня 2015
- Дата доклада: 19 июня 2015
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Преснов Д.Е.
- Место проведения: ИСВЧПЭ РАН, г. Москва, пр. Нагорный, д.7, корпус 1, Russia
- Добавил в систему: Преснов Денис Евгеньевич