|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
3D island’s formation of metal oxides by multi-step ion sputtering of Ti, Nb or V on silicon covered by native oxideдоклад на конференции
- Авторы: Akimov A.G., Sushkova N.M.
- Международная Конференция : XIV International Conference on Ion-Surface Interactions, Zvenigorod, Russia, September, 1999
- Даты проведения конференции: 20-24 сентября 1999
- Дата доклада: 22 сентября 1999
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Russia
- Добавил в систему: Сушкова Наталья Михайловна