ИСТИНА

Целью данной работы является получение длинномерных биаксиально текстурированных пленок диоксида ванадия с заданной топографией поверхности. В соответствии с этим были поставлены следующие задачи: синтез прекурсоров оксидных пленок на основе b-дикетонатов металлов, оптимизация процесса химического осаждения тонкопленочных оксидных гетероструктур (YSZ, Y2O3) на подложках Hastelloy с подслоями MgO и CeO2, получение эпитаксиальных пленок VO2 на них, формирование изображений методом фотолитографии и изучение свойств полученных материалов. The goal of this work is obtaining of long biaxially-textured films of vanadium dioxide with certain surface topography. According to it the following tasks were set: synthesis of precursors based on the metal b-diketonates, optimization of chemical vapor deposition of epitaxial oxide film heterostructures (YSZ, Y2O3) on Hastelloy substrates with buffer layers (MgO, CeO2), obtaining VO2 epitaxial films on them, formation of images by photolithography and studying of the obtained materials properties.