|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Влияние отжига на свойства Si, имплантированного ионами 64Zn+ при подогретой подложкедоклад на конференции
- Авторы: Привезенцев В., Куликаускас В.С., Батраков А.А., Горячев А.В., Затекин В.В.
- Международная Конференция : XLV Международная Тулиновская конференция по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами
- Даты проведения конференции: 26-30 мая 2015
- Дата доклада: 28 мая 2015
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Привезенцев В.
- Место проведения: Москва, Russia
- Добавил в систему: Затекин Владимир Витальевич