|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
О применении динамически перестраиваемых диаграмм Вороного к контролю технологических правилдоклад на конференции
- Авторы: Яхонтов А.Н., Ерохин Р.В., Шеблаев М.В.
- Конференция : V Всероссийская научно-техническая конференция "Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем" МЭС-2012
- Даты проведения конференции: 2012
- Дата доклада: 1 октября 2012
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Истра
- Добавил в систему: Шеблаев Михаил Владимирович