|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Plasma glow intensity and target erosion depth distributions in magnetron sputterдоклад на конференции
- Авторы: Serov A.O., Ryabinkin A.N., Pal A.F., Mankelevich Yu A.
- Международная Конференция : VIII International Conference Plasma Physics and Plasma Technology PPPT-8
- Даты проведения конференции: 14-18 сентября 2015
- Дата доклада: 16 сентября 2015
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Minsk, Belarus
- Добавил в систему: Серов Александр Олегович