ИСТИНА

В настоящей работе представлена самосогласованная модель новой модификации ВЧ разряда – гибридного ВЧ разряда, поддерживаемого системой токов и зарядов, генерируемых на внешней поверхности источника плазмы. Предполагалось, что узел ввода ВЧ мощности выполнен в виде параллельно соединенных спиральной антенны и обкладок конденсатора, расположенных на боковой и торцевой поверхностях источника плазмы. При формулировки модели предполагалось, что в состав плазмы входят: атомы аргона, концентрация которых определяется заданным давлением газа; медленные электроны, энергетическое распределение которых является максвелловским; быстрые монокинетичные электроны; ионы аргона. Предполагалось, что емкостная ветвь разряда является симметричной; стенки источника плазмы находятся под отрицательным потенциалом относительно плазмы; столкновения ионов с электродами приводит к эмиссии электронов с вероятностью "гамма"; электроны, эмитированные с поверхности электродов, и рожденные в результате ионизации аргона электронами в объеме приэлектродных слоев, являются быстрыми. Предполагалось, что энергия быстрых электронов определяется падением постоянного потенциала в слое, все электроны, рожденные в объеме, не занятом слоем, являются медленными, максвелловскими.