ИСТИНА

Пористый анодный оксид алюминия (ПАОА) обладает уникальными свойствами, что позволяет использовать его в различных областях науки и техники. Способность к самоорганизации и относительная простота контроля параметров пористой структуры имеют большое значение для оптических применений. Так на основе ПАОА создают двумерные фотонные кристаллы с модуляцией света как вдоль, так и поперек каналов пор [1, 2]. Модуляция света вдоль каналов пор становится возможной при регулярном чередовании слоев с различной пористостью, от которой зависит эффективный показатель преломления. Анодное окисление мультислоев алюминия и какого-либо другого материала так же должно приводить к периодическому изменению эффективного показателя преломления. Однако, как было показано в работе [3] различные примеси в пленках алюминия оказывают значительное влияние, как на сам электрохимический процесс, так и на морфологию формирующейся пористой структуры. В данной работе проводились исследования процесса анодного окисления трехслойной системы Al/Ge/Al. Изменения кристаллической и электронной структуры слоя германия приводят к изменениям условий окисления. В случае аморфного германия на анодных кривых наблюдается провал, связанный с низкой проводимостью полупроводника (Рис.1а). При этом на РФЭС спектрах кроме основного оксида германия (IV) присутствуют субоксиды и даже неокисленный германий. Вероятно в стенках пор поверхность кластеров германия пассивируется, препятствуя дальнейшему окислению. При отжиге мультислоев Al/Ge/Al слой германия кристаллизуется и легируется алюминием, что значительно увеличивает его дырочную проводимость. Анодная реакция при этом протекает по-другому (Рис.2б), и на РФЭС спектрах наблюдается только одно состояние оксида германия (IV).