ИСТИНА

Установлено, что в легированных пленках в результате высокотемпературного отжига в потоке водорода увеличивается проводимость пленок в результате смещения уровня Ферми к валентной зоне и возникает прыжковая проводимость по состояниям хвоста валентной зоны. Эти изменения электрических свойств легированных пленок обусловлены увеличением концентрации электрически активных атомов бора в отожженных пленках, т.е. увеличением эффективности легирования пленок в условиях подавления в нихс переменной длиной прыжка по состояниям оборванных связей вблизи уровня Ферми. При высокой температуре в этих пленках наблюдается зонная проводимость. Однако положение уровня Ферми в нелегированной отожженной пленке осталось неизменным, в то время как в легированной пленке уровень Ферми сместился к валентной зоне. Кроме того в легированной пленке в области промежуточных температур наблюдается прыжковая проводимость по состояниям хвоста валентной зоны. Появление этой проводимости в отожженной легированной пленке обусловлено возрастанием концентрации электрически активных атомов бора после высокотемпературного отжига и существенным смещением уровня Ферми к валентной зоне. Знание параметров энергии активации этой проводимости и положения уровня Ферми в этой пленке позволило нам определить ширину плотности состояний с неэкспоненциальным спадом в хвосте валентной зоны.