|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Фотоиндуцированный отжиг термоиндуцированных метастабильных состояний в a-Si:H(P)доклад на конференции
- Авторы: Курова И.А., Ормонт Н.Н.
- Конференция : III Российская конференция по материаловедению и физико-химическим основам технологий получения легированных кристаллов кремния и приборных структур на их основе («Кремний 2003»).
- Даты проведения конференции: 2003
- Тип доклада: не указан
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Москва, МИСиС, Russia
-
Аннотация доклада:
Установлено, что в результате освещения закаленных пленок a-Si:H, легированных фосфором, изменяются параметры растянутой экспоненты, описывающей кинетику изотермической релаксации термоиндуцированных метастабильных состояний. Это указывает на наличие фотоиндуцированного отжига, который не только уменьшает концентрацию метастабильных термоиндуцированных состояний, но и изменяет их распределение по временам релаксации, уменьшая эффективное время релаксации ансамбля.
- Добавил в систему: Ормонт Наталия Николаевна