|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Basic principles of non-destructive 3-D microtomography in scanning electron microscopyдоклад на конференции
- Авторы: Rau E.I., Karaulov V.Yu, Zaytsev S.V.
- Международная Конференция : International Conference "Micro- and Nanoelectronics — 2018" (ICMNE-2018)
- Даты проведения конференции: 1-5 октября 2018
- Дата доклада: 3 октября 2018
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Звенигород, Московская область, Russia
-
Аннотация доклада:
Предложены новые принципы получения информации о трехмерной структуре образцов при их исследовании в сканирующем электронном микроскопе
- Добавил в систему: Зайцев Сергей Владимирович