ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
В данной работе получены тонкие углеродно-азотные пленки на поверхности железа магнетронным распылением углеродной мишени в среде рабочего газа Ar с последующей бомбардировкой ионами азота и магнетронным распылением углеродной мишени в смеси газов Ar + 20% N2. Методами рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, спектроскопии протяженных тонких структур энергетических потерь электронов, рентгеноструктурного анализа и спектроскопии комбинационного рассеяния света изучены их химический состав и особенности атомной структуры. Определены параметры локальной атомной структуры сверхтонких поверхностных слоев. Показано формирование нестехиометрических карбонитридов железа в переходной области «пленка/металл» при ионно-лучевом перемешивании.