ИСТИНА

Пленки и покрытия на основе карбидов и нитридов переходных металлов широко используются в машиностроении, микроэлектронике, медицине и других областях для повышения прочностных характеристик материалов, защиты поверхности от коррозии, улучшение дизайна изделий и т.д. [1-2]. Перспективным методом формирования покрытий и пленок с заданными свойствами является методы ионно-лучевой обработки [3]. В частности метод ионно-лучевого перемешивания, позволяющий получать наноразмерные покрытия с высокой адгезией к подложке [4]. Несмотря на исследования в этом направлении, процессы формирования наноразмерных углеродных и углеродно-карбидных покрытий на металлических поверхностях при ионно-лучевом перемешивании изучены недостаточно. В связи с этим, целью данной работы являлось исследование морфологии поверхности, химического и фазового состава, межатомных химических связей, атомной структуры и механических свойств (микротвердость) углеродных пленок, сформированных на поверхности титанового сплава ВТ6 методом магнетронного напыления с последующей ионно-лучевой обработкой потоком высокоэнергетических ионов Ar+. В работе выявлено, что ионно-лучевое перемешивание приводит к формированию на поверхности пленки разупорядоченной структуры углерода, находящегося преимущественно в sp2 гибридизованном состоянии. В межфазной области происходит образование нестехиометрических структур карбидов титана. Образование разупорядоченной структуры углерода и карбидов титана обуславливает упрочнение поверхностного слоя и, как следствие, увеличение микротвердости в 2 и более раза. Рост микротвердости связан со сформированным в результате перемешивания слоем, а не влиянием облучения на подложку из титанового сплава. Работа выполнена в рамках государственного задания ФАНО России АААА-А17-117022250040-0 Список литературы: 1. Андриевский Р.А. // Успехи химии. 2005. Т.74. С. 1163; 2. Hauert R., Patscheilder J. // Adv. Eng. Mater. 2007. V. 9. №9. P. 723. 3. Курзина И.А., Козлов Э.В., Шаркеев Ю.П. Нанокристаллические интерметаллидные нитридные структуры, формирующиеся при ионно-лучевом воздействии // Изд-во НТЛ, Томск (2008). 324 с. 4. Калин Б.А., Волков Н.В., Олейников И.В. // Известия РАН. Серия физическая. 2012. Т. 76. №6. С. 771.