Direct dynamic DFT simulation of the N atom interaction with Si–CHxNy groups on low-k SiOCH films - доклад на конференции | ИСТИНА – Интеллектуальная Система Тематического Исследования НАукометрических данных

Direct dynamic DFT simulation of the N atom interaction with Si–CHxNy groups on low-k SiOCH filmsдоклад на конференции

	ИСТИНА	Войти в систему Регистрация
	ИСТИНА ИНХС РАН
	Главная Поиск Статистика О проекте Помощь