![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Исследована структура покрытий, полученных методом магнетронного распыления составных и спеченных мишеней. Показано, что структура покрытий носит композиционный характер, зависящий от взаимодействия компонент мишени друг с другом и с активными газами, входящими в состав рабочей атмосферы напыления.