|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Воздействие электронов низкой энергии на поверхностную миграционную нестабильность структур кремний - двуокись кремниядоклад на конференции
- Авторы: Козлов С.Н., Славова М.Л., Катеков В.В., Демидович Г.Б.
- Всероссийская с международным участием Конференция (Семинар (workshop)) : Всесоюзный научно-технический семинар "Пути повышения стабильности и надежности микроэлементов и микросхем"
- Даты проведения конференции: 9-12 октября 1984
- Дата доклада: 11 сентября 1984
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Рязань, Russia
- Добавил в систему: Козлов Сергей Николаевич