ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Исследованы оптические свойства кварца и изменения морфологии поверхности после экспозиции в плазме ВЧ раряда. После экспозиции в плазме и удаления слоя толщиной 1.5 мкм шероховатость поверхности понижалась. Светопропускание в интервале длин волн 400-1000 нм оставалось на уровне 93%. Восстановление оксида не наблюдали.