|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Влияние ионной имплантации и отжигов МДП-структур на плотность поверхностных состояний и флуктуации поверхностного потенциала кремниядоклад на конференции
- Авторы: Козлов С.Н., Подпорин Е.В., Неворов А.Н., Боброва Е.А.
- Всероссийская с международным участием Конференция : 8 всесоюзное совещание по физике поверхностных явлений в полупроводниках
- Даты проведения конференции: 11-15 июня 1984
- Дата доклада: 13 июня 1984
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Киев, Russia
- Добавил в систему: Козлов Сергей Николаевич