|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Влияние динамической плазменной обработки на электрофизические параметры системы кремний - окисел доклад на конференции
- Авторы: Агриков Ю.М., Козлов С.Н.
- Региональная Конференция : 6 Руспубликанская Конференция "Физические проблемы МДП-интегральной электроники
- Даты проведения конференции: 11-15 июня 1990
- Дата доклада: 12 июня 1990
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Russia
- Добавил в систему: Козлов Сергей Николаевич