Выберите категорию обращения:
Общие вопросы
Отчеты
Рейтинги
Мониторинговый отчёт
Диссертационные советы
Конкурсы
Ввод данных
Структура организаций
Аспирантура
Научное оборудование
Импорт педагогической нагрузки
Журналы и импакт-факторы
Тема обращения:
Описание проблемы:
Введите почтовый адрес:
ИСТИНА
Войти в систему
Регистрация
ИСТИНА ИНХС РАН
Главная
Поиск
Статистика
О проекте
Помощь
Влияние ионной бомбардировки на состав и свойства слоя, образующегося на поверхности кремния во фторуглеродной плазме
доклад на конференции
Авторы:
Амиров И.И.
,
Алов Н.В.
,
Шумилов А.С.
,
Куприянов А.Н.
Международная Конференция :
VII Международная конференция по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе КРЕМНИЙ-2010
Даты проведения конференции:
2010
Дата доклада:
8 июля 2010
Тип доклада:
Стендовый
Докладчик:
Алов Н.В.
не указан
Амиров И.И.
Алов Н.В.
Шумилов А.С.
Куприянов А.Н.
Место проведения:
Нижний Новгород
Добавил в систему:
Алов Николай Викторович