|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Планаризация поверхности карбида кремния ускоренными кластерными ионамидоклад на конференции
- Авторы: Павлова Е.П., Каргин Н.И., Иешкин А.Е., Рындя С.М., Гусев А.С.
- Международная Конференция : 7-я международная научно-практическая конференция по физике и технологии наногетероструктурной СВЧ-электроники "Мокеровские чтения"
- Даты проведения конференции: 25 мая 2016
- Дата доклада: 25 мая 2016
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Russia
- Добавил в систему: Иешкин Алексей Евгеньевич