ИСТИНА

Настоящая работа посвящена изучению условий генерации потоков ускоренных ионов в разряде, основанном на комбинации индуктивного ВЧ разряда с внешним магнитным полем и разряда постоянного тока. Схема источника плазмы показана на рисунке 1. Он состоит из цилиндрической газоразрядной камеры (ГРК), имеющей форму «бутылки с горлышком» с отверстием на торце. Вблизи отверстия расположен цилиндрический заземленный катод. Анод расположен внутри цилиндрической камеры на торцевой поверхности, противоположной сужению. Диаметр «горлышка» приблизительно равен удвоенному размеру прикатодной части разряда постоянного тока. На внешней поверхности цилиндрической камеры располагается индуктор, подключенный к ВЧ генератору. ГРК помещена во внешнее магнитное поле с преимущественной продольной составляющей. Основная физическая идея, заложенная в основу конструкции источника, состоит в следующем: поступающий в ГРК рабочий газ ионизуется в индуктивном ВЧ разряде, после чего ионы, попадающие в область прикатодных частей разряда, должны ускоряться прикатодным падением потенциала в направлении из источника плазмы. При этом энергия ионов должна задаваться напряжением, приложенным между катодом и анодом. Дополнительным эффектом, оказывающим влияние на параметры ускоренного пучка ионов может быть азимутальный дрейф электронов в области «горлышка», возникающий благодаря наличию продольного внешнего магнитного поля и электрического поля, имеющего радиальную составляющую.