![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
В настоящее время хорошо известны модификации разряда постоянного тока, помещенного в магнитное поле с преимущественной радиальной компонентой, которые находят практическое применение в качестве рабочего процесса электрореактивных Холловских двигателей [1]. В работах [2, 3] была исследована возможность получения потока ускоренных ионов на выходе из источника плазмы, имеющего геометрию Холловского двигателя, при замене разряда постоянного тока емкостным ВЧ разрядом. Активным электродом служил анод Холловского двигателя, пассивным электродом – заземленный корпус источника плазмы. В работах [2, 3] показано, что использование схемы подключения ВЧ генератора к разряду с разомкнутой и замкнутой по постоянному току цепью, позволяет получить потоки ионов с энергиями порядка 70 и 200 – 300 эВ соответственно. К сожалению, возможности независимого управления плотностью потока и энергией ионов оказались ограниченными. В настоящей работе для преодоления указанного недостатка в качестве рабочего процесса в источнике плазмы предложено использовать комбинацию ВЧ емкостного разряда и разряда постоянного тока. Предполагалось, что, изменение мощности ВЧ генератора, позволит управлять плотностью потока ионов, в то время как постоянное смещение анода позволит управлять энергией ионов.