ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
В данной работе представлена методика создания планарных высокотемпературных одноэлектронных транзисторов с применением диэлектрофореза для встраивания острова в транзистор. Усовершенствованная система проведения электромиграции позволила создавать нанозазоры с характерным размером 2-4 нм с высоким (до 95 %) выходом годных. Для встраивания в эти зазоры квантовой точки (острова), в качестве которой использованы наночастицы золота диаметром 2-4 нм - разработана система проведения электротреппинга.