![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Представлены результаты комплексного исследования покрытий, полученных методом магнетронного распыления титана в атмосфере ацетилена и азота. установлено, что изученные покрытия представляют собой различные комбинации стехиометрических и нестехиометрических фаз оксидов и нитридов титана, что подтвердило наличие у покрытий достаточно высоких механических и трибологических свойств.