|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Испытание макетов защитных окон в скрещенных разрядахдоклад на конференции
- Авторы: Буховец В.Л., Маркин А.В., Городецкий А.Е., Залавутдинов Р.Х., Дмитриев А.М., Раздобарин А.Г., Мухин Е.Е.
- Всероссийская с международным участием Конференция : Институт физической химии и электрохимии им. А.Н.Фрумкина РАН - 90 лет
- Даты проведения конференции: 25-29 ноября 2019
- Дата доклада: 27 ноября 2019
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Буховец В.Л.
- Место проведения: Москва, Russia
-
Аннотация доклада:
Предложен метод очистки макетов окон из кварцевого стекла и лейкосапфира в разряде постоянного тока, скрещенного с ВЧ разрядом. Рабочими газами были смеси H2(D2)/N2, H2(D2)/Ne. После нескольких циклов осаждения Al и плазменной очистки коэффициенты пропускания макетов окон в диапазоне 400–1000 нм возвращались к исходной величине.
- Добавил в систему: Самойлова Ольга Владимировна