![]() |
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Представлены результаты комплексного исследования структурно-фазового состояния и функциональных свойств вакуумных покрытий, полученных реактивным магнетронным распылением кремниевых мишеней. Установлено, что трибологические свойства этих покрытий существенно выше, чем у PACVD покрытий, легированных кремнием и кислородом.