|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
A resistless electron beam litography, based on charge accumulation in dielectric filmsдоклад на конференции
- Авторы: Kelm E., Zubov D., Sokolov S., Milovanov R., Kazmishchev S.
- Международная Конференция : ICMNE-2016
- Даты проведения конференции: 3-6 октября 2016
- Дата доклада: 5 октября 2016
- Тип доклада: Стендовый
- Докладчик: не указан
- Место проведения: пансионат Ершово, Звенигород, МО, Russia
- Добавил в систему: Соколов Сергей Александрович