|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Modeling of Light Scattered by Microroughness of Filmed Wafersдоклад на конференции
- Автор: Лопушенко В.В.
- Международная Конференция : 3d Workshop on Electromagnetic and Light Scattering: Theory and Applications
- Даты проведения конференции: 1998
- Тип доклада: Устный
- Докладчик: Лопушенко В.В.
- Место проведения: Bremen, Germany, Germany
- Добавил в систему: Лопушенко Владимир Васильевич