ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Численное решение для уравнения Пуассона для электрического поля в присутствии проводников сложной геометрии. Эффект нотчинга требует расчета электрического поля для понимания траекторий ионов, которые производят травление подложки. Из-за процесса травления геометрия проводников становится весьма сложной, что требует определенного усложнения подхода при численном расчете параметров электрического поля.