|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Формирование изображения наноструктур в оптической литографиидоклад на конференции
- Авторы: Рыжиков С.Б., Рыжикова Ю.В.
- Всероссийская с международным участием Конференция : II Всероссийская конференция по фотонике и информационной оптике
- Даты проведения конференции: 2013
- Дата доклада: 24 января 2013
- Тип доклада: Приглашенный
- Докладчик: Рыжикова Ю.В.
- Место проведения: Москва, Russia
-
Аннотация доклада:
Проведено численное моделирование формирования фотолитографического изображения субмикронных структур, составленных из металлических расщепленных колец и П-образных элементов. Приводятся оценки минимальных размеров изображения зазоров между элементами при изменении параметров оптической системы с учетом частичной когерентности источника освещения. Проводится анализ устойчивости полученных геометрических характеристик на этапе экспонирования.
- Добавил в систему: Рыжикова Юлия Владимировна