ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Представлено экспериментальное изучение влияния параметров имплантации (энергия, доза, а также температура мишени) на характеристики активного слоя кремния. Сделаны выводы о механизмах улучшения кристаллической структуры после ионного облучения и последующей твердофазной рекристаллизации