|
ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Расчет профиля распределения ионов бора, внедренных в монокристалл кремния, методом численного моделированиядоклад на конференции
- Авторы: Эльтеков В.А., Карпузов Д.С., Юрасова В.Е., Рубаха Е.А., Симонов В.А., Мартыненко Ю.В.
- Конференция : Физические основы ионно-лучевого легирования
- Даты проведения конференции: 1971
- Тип доклада: не указан
- Докладчик: не указан
- Место проведения: Горький
- Добавил в систему: Эльтеков Виталий Анатольевич