ИСТИНА |
Войти в систему Регистрация |
|
ИСТИНА ИНХС РАН |
||
Разработан и исследован высокочувствительный(S = 11,2 ± 1,8 мВ/В/кПа с погрешностью по нелинейности 2KNL = 0,15 ± 0,09 %/FS) малогабаритный (4,00х4,00 мм2) кремниевый кристалла датчика давления (ДД) с использованием новой электрической схемы для микроэлектромеханических систем (МЭМС) в виде дифференциального каскада с отрицательной обратной связью (ТДК с ООС) для измерения дифференциального диапазона до 5 кПа. Продемонстрировано преимущество по массиву выходных характеристик, доказывающих актуальность представленной разработки, относительно современных мировых разработок датчиков давления для данного диапазона давления.
№ | Имя | Описание | Имя файла | Размер | Добавлен |
---|---|---|---|---|---|
1. | Иллюстрация | Plakat_A1._Elbrus.pdf | 783,9 КБ | 6 августа 2021 [BasovMikhail] |